投影式光刻機,最重要的就是掩膜版的制作,掩膜版制作完成,工作就算是完成了大半。
不過由于多層次立體晶體管架構的特殊性,掩膜版并不止一塊,而是多塊多層次,分別進行曝光,才能完成。
多塊掩膜版的切換,自然也不是原本的光刻機能夠做到的,為此楊青對光刻機的光學系統,還有工作臺,做了大改,以適應這些特別的加工需求。
也幸虧楊青是生活在華國這個加工業的大國,大部分的零部件,哪...
投影式光刻機,最重要的就是掩膜版的制作,掩膜版制作完成,工作就算是完成了大半。
不過由于多層次立體晶體管架構的特殊性,掩膜版并不止一塊,而是多塊多層次,分別進行曝光,才能完成。
多塊掩膜版的切換,自然也不是原本的光刻機能夠做到的,為此楊青對光刻機的光學系統,還有工作臺,做了大改,以適應這些特別的加工需求。
也幸虧楊青是生活在華國這個加工業的大國,大部分的零部件,哪...